lucy5668 专项索赔征集
本文源自:金融界
金融界2024年12月21日消息,国家知识产权局信息显示,成都航天博目电子科技有限公司申请一项名为“一种T型栅制备方法以及T型栅”的专利,公开号CN 119153321 A,申请日期为2024年9月。
专利摘要显示,本发明公开了一种T型栅制备方法以及T型栅,所述方法包括:在外延片上沉积氮化硅薄膜并涂布第一光刻胶;使用i线光刻机对第一光刻胶曝光并显影,形成第一光刻胶图案;进行热回流加热形成开口缩小的第二光刻胶图案;对氮化硅薄膜进行刻蚀形成栅极制作窗口;沉积第一金属膜并涂布一层厚胶,使用i线步进式光刻机曝光并显影形成需要电镀的区域;通过电镀使第一金属膜增厚为第二金属膜;涂布第二光刻胶,使用i线步进式光刻机曝光并显影形成需要逆电镀的区域;通过逆电镀去除未被第二光刻胶覆盖的第二金属膜;去除第二光刻胶图案,保留第二金属膜作为T型栅。本发明利用传统i线光刻机就可以制备更小栅长的T型栅,能够降低设备成本,提高制备效率。
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